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ALD与CVD：如何选择适合的薄膜沉积技术？
2025/10/22 12:47:43 作者：阿拉丁
在现代科技领域，薄膜沉积技术已成为半导体、光学镀膜、太阳能电池等众多行业不可或缺的工艺环节。原子层沉积（ALD）与化学气相沉积（CVD）作为两大核心技术，分别代表着精密沉积与高通量沉积的不同方向。但在选择薄膜沉积系统时，许多人都面临一个关键问题：究竟该选择精密沉积还是高通量沉积？这两种技术各有何特点？又分别适用于哪些场景？
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