基本信息：
中文名称 三(三甲硅烷氧基)硅烷
英文名称 tris(trimethylsilyloxy)silicon
英文别名 Tris(trimethylsiloxy)silane;2.2.6.6-tetramethyl-4-trimethylsiloxy-2,4,6-trisila-3.5-dioxaheptane;EINECS 217-497-7;3-Hydrogen-1,1,1,5,5,5-hexamethyl-3-trimethylsiloxytrisiloxan;Tris(trimethylsilyloxy)silane;
CAS号 1873-89-8
合成路线：
1.通过六甲基二硅氧烷合成三(三甲硅烷氧基)硅烷，收率约74%；
2.通过三甲基氯硅烷合成三(三甲硅烷氧基)硅烷
合成路线仅供参考