三氟甲烷，是一种无色、微味，不导电的气体，是理想的卤代烷替代物。
1、用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。
2、电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一，尤其是对二氧化硅膜的刻蚀，具有刻蚀速度快，选择性好的优点。此外，氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。
3、用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。
4、用作低温（-100℃）制冷剂，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有机化合物的原料。