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四氟化钛有啥应用

提问时间:2021/3/4 12:01:53
四氟化钛主要有啥工业用途?

1条回复:

匿名
2021/3/4 12:01:53
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线
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